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論文・著書情報


タイトル
和文:High-kゲート絶縁膜用希土類酸化物薄膜の電気特性 
英文: 
著者
和文: 柏木郁未, 大島千鶴, 佐藤航一郎, 武田光弘, 大島享介, 大見俊一郎, 石原宏, 岩井洋.  
英文: 柏木郁未, 大島千鶴, 佐藤航一郎, 武田光弘, 大島享介, 大見俊一郎, 石原宏, 岩井洋.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:STARCシンポジウム2001 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2001年 
出版者
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会議名称
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開催地
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