Selective dry etching of manganite thin films for high sensitive magnetoresistive sensors

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Selective dry etching of manganite thin films for high sensitive magnetoresistive sensors

著者

和文:	) M. Naoe, K. Hamaya, N. Fujiwara, T. Taniyama, Y. Kitamoto, Y. Yamazaki.
英文:	) M. Naoe, K. Hamaya, N. Fujiwara, T. Taniyama, Y. Kitamoto, Y. Yamazaki.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	J. Magn. Magn. Mater

巻, 号, ページ

No. 235 pp. 223-226

出版年月

2001年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
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開催地

和文:
英文: