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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:A Study on the Crystallization of Ti-Al Films Deposited by Two-facing-Targets Sputtering System 
著者
和文: Chang-Suk Han, Osamu Nittono.  
英文: Chang-Suk Han, Osamu Nittono.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:J.Kor.Inst.Met. & Mater. 
巻, 号, ページ Vol. 39    No. 3    pp. 253-259
出版年月 2001年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
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開催地
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英文: 

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