Al CVD Technology using DMAH for ULSI Multilevel Interconnection

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Al CVD Technology using DMAH for ULSI Multilevel Interconnection

著者

和文:	K. Tsubouchi, K. Masu.
英文:	K. Tsubouchi, K. Masu.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	International Workshop on Development of Thin Film for Future ULSI's and Nano-Scale Process Integration

巻, 号, ページ

pp. 34

出版年月

1998年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: