Mirror-Like Surface Morphology of CVD-Al on TiN by ClF<sub>3</sub> Pretreatment

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Mirror-Like Surface Morphology of CVD-Al on TiN by ClF₃ Pretreatment

著者

和文:	H. Matsuhashi, A. Gotoh, J. H. Chung, K. Masu, K. Tsubouchi.
英文:	H. Matsuhashi, A. Gotoh, J. H. Chung, K. Masu, K. Tsubouchi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of Advanced Metallization and Interconnect Systems for ULSI Applications in 1995

巻, 号, ページ

pp. 667-673

出版年月

1996年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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