バイモルフ形PZT素子を用いた薄形ぜん動マイクロポンプ（片面駆動形の特性評価） | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	バイモルフ形PZT素子を用いた薄形ぜん動マイクロポンプ（片面駆動形の特性評価）
英文:

著者

和文:	近藤　豊, 丁　向, 横田眞一.
英文:	近藤　豊, 丁　向, 横田眞一.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本機械学会2001年度年次大会講演論文集
英文:

巻, 号, ページ

pp. 293-294

出版年月

2001年

出版者

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会議名称

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開催地

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英文:

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