電子線照射によるCaF<sub>2</sub>表面の改質効果を利用したGaの選択堆積 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	電子線照射によるCaF₂表面の改質効果を利用したGaの選択堆積
英文:

著者

和文:	今福周作, 筒井一生.
英文:	今福周作, 筒井一生.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第62回応用物理学会学術講演会予稿集
英文:

巻, 号, ページ

pp. 553

出版年月

2001年

出版者

和文:
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会議名称

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英文:

開催地

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英文:

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