Zirconium sputtering Enhanced Effect by Argon mixed Hydrogen or Oxygen Plasma

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Zirconium sputtering Enhanced Effect by Argon mixed Hydrogen or Oxygen Plasma

著者

和文:	Tei Saburi, Rintarou Asami, Yoko Kawai, Tatsuya Suzuki, Yasuhiko Fujii.
英文:	Tei Saburi, Rintarou Asami, Yoko Kawai, Tatsuya Suzuki, Yasuhiko Fujii.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Frontier of Surface Engineering 2001/6th asian Surface Finishing Forum/3rd Asian-Europian Inter. Conf. Plasma Surface Engineering/ 5th Asia-Pacific Interfinish Cong./4th Japn-Korea Symp. Plasma and Thin Film Technology

巻, 号, ページ

pp. 64

出版年月

2001年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
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