A New Positive-Type Photosensitive Alkaline-Developable Alicyclic Polyimide Based on Poly(amic acid silylester) as a Polyimide Precursor and Diazonaphtoquinone as a Photosensitive Compound

論文・著書情報

タイトル

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英文:	A New Positive-Type Photosensitive Alkaline-Developable Alicyclic Polyimide Based on Poly(amic acid silylester) as a Polyimide Precursor and Diazonaphtoquinone as a Photosensitive Compound

著者

和文:	Y. Watanabe, Y. Shibasaki, S. Ando, M. Ueda.
英文:	Y. Watanabe, Y. Shibasaki, S. Ando, M. Ueda.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Chem. Mater.

巻, 号, ページ

Vol. 14 No. 4 pp. 1762-1766

出版年月

2002年

出版者

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会議名称

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開催地

和文:
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