Precision Positioning with a Rotary-linear Motor Driven by a Pair of 2D Ultrasonic Actuators

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Precision Positioning with a Rotary-linear Motor Driven by a Pair of 2D Ultrasonic Actuators

著者

和文:	. Nobuyuki Iwatsuki, Iwao Hayashi, Ryoh Yamamoto, Junji Shibata.
英文:	. Nobuyuki Iwatsuki, Iwao Hayashi, Ryoh Yamamoto, Junji Shibata.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. of the 7th International Symposium on Micro Machine and Human Science

巻, 号, ページ

pp. 183-188

出版年月

1996年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
英文: