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論文・著書情報


タイトル
和文:ヨウ硫化アンチモンを用いたマイクロアクチュエータに関する研究 
英文: 
著者
和文: 夏明正伸, 林 輝, 岩附信行.  
英文: 夏明正伸, 林 輝, 岩附信行.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:昭和63年度精密工学会春季大会学術講演論文集 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 617-618
出版年月 1988年 
出版者
和文: 
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会議名称
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英文: 
開催地
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英文: 

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