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論文・著書情報


タイトル
和文:二次元超音波モータを用いた回転リニアモータの高精度位置決めの研究 
英文: 
著者
和文: 木ノ内雅人, 林　巖, 岩附信行, 森川広一, 柴田順二, 鈴木浩二.  
英文: 木ノ内雅人, 林　巖, 岩附信行, 森川広一, 柴田順二, 鈴木浩二.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:1997年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 595
出版年月 1997年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 

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