二次元超音波モータを用いた回転リニアモータの高精度位置決めの研究 | T2R2 東京工業大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	二次元超音波モータを用いた回転リニアモータの高精度位置決めの研究
英文:

著者

和文:	木ノ内雅人, 林　巖, 岩附信行, 森川広一, 柴田順二, 鈴木浩二.
英文:	木ノ内雅人, 林　巖, 岩附信行, 森川広一, 柴田順二, 鈴木浩二.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	1997年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
英文:

巻, 号, ページ

pp. 595

出版年月

1997年

出版者

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会議名称

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開催地

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英文:

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