４開口法レーザスペック干渉計による２次元内変位の測定～２次元フーリエ変換位相検出の測定精度～

論文・著書情報

タイトル

和文:	４開口法レーザスペック干渉計による２次元内変位の測定～２次元フーリエ変換位相検出の測定精度～
英文:	Measurement of Two-dimensional In-plane Displacement by Using Laser Speckle Interferometer with Quad Aperture Method - Measuring Accuracy of Phase Detection with Two-dimensional Fourier Transform -

著者

和文:	岩附信行, 林　巖, 森川広一, 松浦大輔, 岩村道隆, 後藤博史.
英文:	岩附信行, 林　巖, 森川広一, 松浦大輔, 岩村道隆, 後藤博史.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	2002年度精密工学会秋季大会講演論文集
英文:	Proc. of 2002 JSPE Autumn Confernce

巻, 号, ページ

pp. 144

出版年月

2002年

出版者

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会議名称

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開催地

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