バイモルフ形PZT素子アレイを用いた薄形ぜん動管路形マイクロポンプ（片面駆動形の試作） | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	バイモルフ形PZT素子アレイを用いた薄形ぜん動管路形マイクロポンプ（片面駆動形の試作）
英文:

著者

和文:	近藤　豊, 丁　向, 横田眞一.
英文:	近藤　豊, 丁　向, 横田眞一.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本機械学会論文集Ｃ編
英文:

巻, 号, ページ

Vol. 68 No. 666 pp. 643-649

出版年月

2002年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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英文:

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