ＭＯＣＶＤ法によるＰＺＴ厚膜の合成と評価 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	ＭＯＣＶＤ法によるＰＺＴ厚膜の合成と評価
英文:

著者

和文:	横山信太郎, 尾関朝彦, 及川貴弘, 舟窪浩.
英文:	横山信太郎, 尾関朝彦, 及川貴弘, 舟窪浩.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	応用物理学会2002年春講演会
英文:

巻, 号, ページ

Vol. 27a-ZA-8 pp. 509

出版年月

2002年

出版者

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会議名称

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開催地

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英文:

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