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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Sensitivity of a miniaturized touch probe sensor using PZT thin film vibrator 
著者
和文: 神田 岳文, 黒澤 実, 樋口 俊郎.  
英文: T. Kanda, M. K. Kurosawa, T. Higuchi.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Ultrasonics 
巻, 号, ページ Vol. 40    No. 1-8    pp. 61-65
出版年月 2002年5月 
出版者
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会議名称
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開催地
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DOI https://doi.org/10.1016/S0041-624X(02)00091-4

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