A direct plasma injection system into an RFQ for clean and safe ion implantation

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A direct plasma injection system into an RFQ for clean and safe ion implantation

著者

和文:	T.Takeuchi, T.Katayama, M.Okamura, K.Yano, A.Sakumi, T.Hattori, N.Hayashizaki, R.A.Jameson.
英文:	T.Takeuchi, T.Katayama, M.Okamura, K.Yano, A.Sakumi, T.Hattori, N.Hayashizaki, R.A.Jameson.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B

巻, 号, ページ

Vol. 188 pp. 233-237

出版年月

2002年

出版者

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会議名称

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開催地

和文:
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