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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:X-ray evaluation of microroughness of mechano chemically pollishid silicon surfaces 
著者
和文: 坂田修身　.  
英文: OSAMI SAKATA.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Jpn. J. Appl. Phys 
巻, 号, ページ Vol. 32        pp. 616-619
出版年月 1993年 
出版者
和文: 
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会議名称
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英文: 
開催地
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英文: 

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