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論文・著書情報


タイトル
和文:パルス変調RF放電を用いた非平衡プラズマの炭素材料合成プロセスへの応用 
英文: 
著者
和文: 石丸和博, 足立達, 岡崎健.  
英文: 石丸和博, 足立達, 岡崎健.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第39回日本伝熱シンポジウム講演論文集 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 251-251
出版年月 2002年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 

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