Oxygen Plasma Interactions with Molybdenum: Formation of Volatile Molybdenum Oxides

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Oxygen Plasma Interactions with Molybdenum: Formation of Volatile Molybdenum Oxides

著者

和文:	T. Saburi, H. Murata, T. Suzuki, Y. Fujii, K. Kiuchi.
英文:	T. Saburi, H. Murata, T. Suzuki, Y. Fujii, K. Kiuchi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	J. Plasma and Fusion Research

巻, 号, ページ

Vol. 781 pp. 3-4

出版年月

2001年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: