CBE法におけるGaInAsPおよびInPへのベリリウムドーピング

論文・著書情報

タイトル

和文:	CBE法におけるGaInAsPおよびInPへのベリリウムドーピング
英文:	Beryllium doping to GaInAsP and InP by CBE

著者

和文:	内田貴司, 横内則之, 宮本智之, 稲葉雄一, 小山二三夫, 伊賀健一.
英文:	内田貴司, 横内則之, Tomoyuki Miyamoto, 稲葉雄一, FUMIO KOYAMA, Kenichi Iga.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
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巻, 号, ページ

11p-W-12

出版年月

1991年9月

出版者

和文:
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会議名称

和文:	第52回応用物理学会学術講演会
英文:	The 52nd Autumn Meeting of The Japan Society of Applied Physics

開催地

和文:	岡山
英文:	Okayama