MOVPE法によるSiO<sub>&lt;small&gt;2&lt;/small&gt;</sub>膜上へのGaN成長

論文・著書情報

タイトル

和文:	MOVPE法によるSiO_{<small>2</small>}膜上へのGaN成長
英文:	GaN growth on SiO_{<small>2</small>} film by MOVPE

著者

和文:	森口雄一郎, 宮本智之, 坂口孝浩, 井上彰, 岩田雅年, 内田慶彦, 小山二三夫, 伊賀健一.
英文:	森口雄一郎, Tomoyuki Miyamoto, 坂口孝浩, 井上彰, 岩田雅年, 内田慶彦, 小山二三夫, 伊賀健一.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

1998年9月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第59回応用物理学会学術講演会
英文:	The 59th Autumn Meeting of The Japan Society of Applied Physics

開催地

和文:	広島
英文:	Hiroshima