高誘電率薄膜の耐湿性に関する検討　－アクリル容器からの放出ガスの影響－ | T2R2 東京工業大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	高誘電率薄膜の耐湿性に関する検討　－アクリル容器からの放出ガスの影響－
英文:

著者

和文:	赤間貞洋, 菊池明, 大見俊一郎, 岩井洋.
英文:	赤間貞洋, 菊池明, 大見俊一郎, 岩井洋.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	STARCシンポジウム2002
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2002年

出版者

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会議名称

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開催地

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英文:

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