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論文・著書情報


タイトル
和文:電子ビーム励起プラズマ援用PVD法によるDLC膜の合成 
英文: 
著者
和文: 田渕公一, 比田井洋史, 戸倉　和, 平田　敦.  
英文: 田渕公一, 比田井洋史, 戸倉　和, 平田　敦.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:2002年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 301
出版年月 2002年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 

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