Phosphorous Doping of Strain-Induced Si<sub>1-y</sub>C<sub>y</sub> Epitaxial Films Grown by Low-Temperature Chemical Vapor Deposition

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Phosphorous Doping of Strain-Induced Si_1-yC_y Epitaxial Films Grown by Low-Temperature Chemical Vapor Deposition

著者

和文:	Shuhei Yagi, Katsuya Abe, Takashi Okabayashi, Yuichi Yoneyama, Akira Yamada, Makoto Konagai.
英文:	Shuhei Yagi, Katsuya Abe, Takashi Okabayashi, Yuichi Yoneyama, Akira Yamada, Makoto Konagai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japan Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

Vol. 41 No. 4B pp. 2472-2475

出版年月

2002年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: