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論文・著書情報


タイトル
和文:YSZ/SiOx/Si薄膜の結晶化過程の加熱in-situ TEM観察 
英文: 
著者
和文: 木口賢紀, 脇谷尚樹, 篠崎和夫, 水谷惟恭.  
英文: 木口賢紀, 脇谷尚樹, 篠崎和夫, 水谷惟恭.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:日本電子顕微鏡学会関東支部 第26回講演会予稿集 
英文: 
巻, 号, ページ     No. P-14    pp. 112
出版年月 2002年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 

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