パルス MOCVD 法で原料供給方法を変化させた PZT 薄膜の微構造の高品質化

論文・著書情報

タイトル

和文:	パルス MOCVD 法で原料供給方法を変化させた PZT 薄膜の微構造の高品質化
英文:	Microstructure improvement of PZT thin film by changing source supply method using pulsed MOCVD

著者

和文:	藤戸啓輔, 脇谷尚樹, 篠崎和夫, 水谷惟恭.
英文:	藤戸啓輔, 脇谷尚樹, 篠崎和夫, 水谷惟恭.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第15回日本セラミックス協会秋季シンポジウム講演予稿集
英文:	15th Fall Meeting of The Ceramic Society of Japan

巻, 号, ページ

No. 2L03 pp. 189

出版年月

2002年

出版者

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会議名称

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開催地

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