種々の希土類元素を添加したジルコニアゲート絶縁膜の界面構造の高分解能 TEM 観察

論文・著書情報

タイトル

和文:	種々の希土類元素を添加したジルコニアゲート絶縁膜の界面構造の高分解能 TEM 観察
英文:	HRTEM investigation of interface structure of zirconia gate dielectrics doped with various rare earth elements

著者

和文:	木口賢紀, 脇谷尚樹, 篠崎和夫, 水谷惟恭.
英文:	木口賢紀, 脇谷尚樹, 篠崎和夫, 水谷惟恭.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第15回日本セラミックス協会秋季シンポジウム講演予稿集
英文:	15th Fall Meeting of The Ceramic Society of Japan

巻, 号, ページ

No. 3L19 pp. 266

出版年月

2002年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: