YSZ/Siエピタキシャル薄膜の室温合成と誘電特性

論文・著書情報

タイトル

和文:	YSZ/Siエピタキシャル薄膜の室温合成と誘電特性
英文:	Room Temperature Preparation and Dielectric Properties of Epitaxial YSZ/Si Thin Films

著者

和文:	脇谷尚樹, 石垣寛和, 篠崎和夫, 水谷惟恭.
英文:	脇谷尚樹, 石垣寛和, 篠崎和夫, 水谷惟恭.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第63回応用物理学会学術講演会講演予稿集
英文:	Extended Abstracts of The 63rd Anutumn Meeting, 2002; The Japan Society of Applied Physics

巻, 号, ページ

No. 24p-P4-26 pp. 451

出版年月

2002年

出版者

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会議名称

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開催地

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