パルスMOCVD法において原料供給方法がPZT薄膜の微構造と誘電特性に与える影響

論文・著書情報

タイトル

和文:	パルスMOCVD法において原料供給方法がPZT薄膜の微構造と誘電特性に与える影響
英文:	Effectt of Source Supply Method on Microstructure and Dielectric Properties of PZT Thin Film by Pulsed MOCVD

著者

和文:	藤戸啓輔, 脇谷尚樹, 篠崎和夫, 水谷惟恭.
英文:	藤戸啓輔, 脇谷尚樹, 篠崎和夫, 水谷惟恭.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本セラミックス協会電子材料部会第22回電子材料研究討論会講演予稿集
英文:	Extended Abstraccts of the 22nd Electronics Division Meeting

巻, 号, ページ

No. 1B04 pp. 25

出版年月

2002年

出版者

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会議名称

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開催地

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