Growth of Epitaxial Thin Films and Control Residual Stress in thin Films by Introducing Buffer Layers

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Growth of Epitaxial Thin Films and Control Residual Stress in thin Films by Introducing Buffer Layers

著者

和文:	Kazuo Shinozaki, Naoki Wakiya, Nobuyasu Mizutani.
英文:	Kazuo Shinozaki, Naoki Wakiya, Nobuyasu Mizutani.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	The 1st thin film /single crystal symposium

巻, 号, ページ

No. 6 pp. 158-219

出版年月

2002年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
英文: