Si(001)基板上に低温成膜した極薄YSZ膜の膜質に及ぼす成膜温度とSiO<sub>2</sub>層の影響 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	Si(001)基板上に低温成膜した極薄YSZ膜の膜質に及ぼす成膜温度とSiO₂層の影響
英文:

著者

和文:	石垣寛和, 山田智明, 脇谷尚樹, 篠崎和夫, 水谷惟恭.
英文:	石垣寛和, 山田智明, 脇谷尚樹, 篠崎和夫, 水谷惟恭.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本セラミックス協会2001年年会講演予稿集
英文:	Annual Meeting of The Ceramic Society of Japan, 2001

巻, 号, ページ

出版年月

2001年

出版者

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会議名称

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開催地

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