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論文・著書情報


タイトル
和文:反応性熱CVD法による多結晶Si1-ｘGeｘ薄膜の低温堆積とTFTへの応用 
英文: 
著者
和文: 半那純一, 清水耕作, 張 建軍.  
英文: 半那純一, 清水耕作, 張 建軍.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:応用物理 
英文: 
巻, 号, ページ Vol. 71    No. 7    pp. 878-882
出版年月 2002年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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