Poly-siGe TFTs Fabricated by Low Temerature Chemical Vapor Deposition at 450oC

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Poly-siGe TFTs Fabricated by Low Temerature Chemical Vapor Deposition at 450oC

著者

和文:	Kousaku Shimizu, JianJun Zhang, Jeong-Woo Lee, Jun-ichi Hanna.
英文:	Kousaku Shimizu, JianJun Zhang, Jeong-Woo Lee, Jun-ichi Hanna.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Mat. Res. Soc. Proc.

巻, 号, ページ

Vol. 686 pp. 107-112

出版年月

2002年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
英文: