Multiagent-oriented Process Design and Operation for Microfabricated Processes

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Multiagent-oriented Process Design and Operation for Microfabricated Processes

著者

和文:	Naoki KIMURA, Hideyuki MATSUMOTO, Chiaki KURODA.
英文:	Naoki KIMURA, Hideyuki MATSUMOTO, Chiaki KURODA.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of PSE Asia 2000

巻, 号, ページ

pp. 447-452

出版年月

2000年12月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:	Kyoto, Japan