Si基板上に形成したポリ尿素圧電薄膜超音波トランスデユーサ | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	Si基板上に形成したポリ尿素圧電薄膜超音波トランスデユーサ
英文:

著者

和文:	長塚弘美, 中村健太郎, 上羽貞行, 平尾善裕.
英文:	長塚弘美, KENTARO NAKAMURA, SADAYUKI UEHA, 平尾善裕.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本音響学会2003春季研究発表会講演論文集
英文:

巻, 号, ページ

1-p-24 pp. 1275-1276

出版年月

2003年3月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	日本音響学会3003春季研究発表会
英文:

開催地

和文:	東京
英文:

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