Fabrication of Diamond-Like Carbon Films on Microextrusion Dies by Pulse Plasma Enhanced CVD

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Fabrication of Diamond-Like Carbon Films on Microextrusion Dies by Pulse Plasma Enhanced CVD

著者

和文:	Xu-Dong YANG, Yusuke INAMI, Naoto OHTAKE, Takao SAITO, Yukinori NAKAMURA, Yoshimasa KONDO.
英文:	Xu-Dong YANG, Yusuke INAMI, Naoto OHTAKE, Takao SAITO, Yukinori NAKAMURA, Yoshimasa KONDO.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. 16th Int. Symp. on Plasma Chemistry

巻, 号, ページ

Vol. 16 No. 1 pp. 236-241

出版年月

2003年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
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開催地

和文:
英文: