酸素プラズマのガス温度への希ガス混入の影響

論文・著書情報

タイトル

和文:	酸素プラズマのガス温度への希ガス混入の影響
英文:	Effect of admixture of noble gases on gas temperature of oxygen plasma

著者

和文:	直井浩一, 坂本武士, 松浦治明, 赤塚洋.
英文:	直井浩一, 坂本武士, 松浦治明, 赤塚洋.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第６４回応用物理学会学術講演会　講演予稿集
英文:	Extended Abstrracts (The 64th Autumn Meeting, 2003); The Japan Society of Applied Physics

巻, 号, ページ

pp. 99

出版年月

2003年

出版者

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会議名称

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開催地

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