Zirconium sputtering by argon-hydrogen and argon-oxygen plasma

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Zirconium sputtering by argon-hydrogen and argon-oxygen plasma

著者

和文:	T.Saburi, R.Asami, Y.Kawai, T. Suzuki, Y. Fujii.
英文:	T.Saburi, R.Asami, Y.Kawai, T. Suzuki, Y. Fujii.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Surface and Coationg Technol.

巻, 号, ページ

Vol. 169-170 pp. 487-490

出版年月

2003年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: