直線運動精度の超精密計測・制御-液面を基準とする場合-

論文・著書情報

タイトル

和文:	直線運動精度の超精密計測・制御-液面を基準とする場合-
英文:	Measurement and Control of Straight Motion Accuracy Using Liquid Surface for Absolute Reference

著者

和文:	山口城治, 佐藤海二, 青山尚之, 下河辺明.
英文:	Joji Yamaguchi, Kaiji Sato, Hisayuki Aoyama, Akira Shimokohbe.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	精密工学会誌
英文:	Journal of the Japan Society for Precision Engineering

巻, 号, ページ

Vol. 57 No. 3 pp. 526-531

出版年月

1991年3月

出版者

和文:	精密工学会
英文:	The Japan Society for Precision Engieering

会議名称

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開催地

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