Precision Positiong Using Air Bearing Lead Screw

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Precision Positiong Using Air Bearing Lead Screw

著者

和文:	Hiroyuki TACHIKAWA, Makoto FUKUDA, Tadahiko SHINSHI, Kaiji SATO, Akira SHIMOKOHBE.
英文:	Hiroyuki TACHIKAWA, Makoto FUKUDA, Tadahiko SHINSHI, Kaiji SATO, Akira SHIMOKOHBE.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. of MIPE'97

巻, 号, ページ

pp. 221,226

出版年月

1997年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
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開催地

和文:
英文: