Discrete-Time Sliding-Mode Control for Processes with Time Delay and Application to Cooling Plate for Semiconductor Manufacturing

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Discrete-Time Sliding-Mode Control for Processes with Time Delay and Application to Cooling Plate for Semiconductor Manufacturing

著者

和文:	Kenichi BANDOH, Shinichi YOKOTA, Satoshi FUKUHARA.
英文:	Kenichi BANDOH, Shinichi YOKOTA, Satoshi FUKUHARA.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. of ICOM2003

巻, 号, ページ

pp. 191-196

出版年月

2003年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

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英文: