Characterization and Device Application of Tensile Strained Si<sub>1-y</sub>C<sub>y</sub> Layers Grown by Gas-Source Molecular Beam Epitaxy

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Characterization and Device Application of Tensile Strained Si_1-yC_y Layers Grown by Gas-Source Molecular Beam Epitaxy

著者

和文:	K. Abe, C. Yabe, T. Watahiki, A. Yamada, M. Konagai.
英文:	K. Abe, C. Yabe, T. Watahiki, A. Yamada, M. Konagai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Third International Conference on SiGe(C) Epitaxy and Heterostructures

巻, 号, ページ

出版年月

2003年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: