1,3-ジシランブタンをCソースに用いた微結晶Si<sub>1-x</sub>C<sub>x</sub>薄膜の作製 | T2R2 東京工業大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	1,3-ジシランブタンをCソースに用いた微結晶Si_1-xC_x薄膜の作製
英文:

著者

和文:	岡林尚志, 八木修平, 阿部克也, 山田明, 小長井誠.
英文:	岡林尚志, 八木修平, 阿部克也, 山田明, 小長井誠.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第63回応用物理学関係連合講演会
英文:

巻, 号, ページ

Vol. 24a-M-11

出版年月

2002年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

©2007 Tokyo Institute of Technology All rights reserved.