A Trial Manufacturing of Micromechanism Elements by Use of a Fast Atom Beam Etching Machine

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A Trial Manufacturing of Micromechanism Elements by Use of a Fast Atom Beam Etching Machine

著者

和文:	Mikio HORIE, Tomoyuki ISHIBASHI, Daiki KAMIYA.
英文:	Mikio HORIE, Tomoyuki ISHIBASHI, Daiki KAMIYA.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Micro System Technologies 2003, International Conference & Exhibition on Micro Electro, Opto, Mechanical Systems and Components

巻, 号, ページ

pp. 334-341

出版年月

2003年

出版者

和文:
英文:	Micro System Technologies 2003 (International Conference & Exhibition on Micro Electro, Opto, Mechanical Systems and Components),Herbert Reichl(Editor),2003 Franzis Verlag GmbH, 85586 Point, ISBN 3-7723-7020-9

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: