Piezoelectric Properties of PZT Thick Film on Si Prepared by an Interfacial Polymerization Method

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Piezoelectric Properties of PZT Thick Film on Si Prepared by an Interfacial Polymerization Method

著者

和文:	Takaaki Tsurumi, Shuichi Ozawa, Satoshi Wada, Masayuki Yamane.
英文:	Takaaki Tsurumi, Shuichi Ozawa, Satoshi Wada, Masayuki Yamane.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	The 12th International Symposium on Applications of Ferroelectrics, 8/24/98 -8/27/00, Hawaii, U.S.A.

巻, 号, ページ

出版年月

2000年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

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英文: