New Technologies for Low Temperature Fabrication of Ceramic Films in Passive Integration

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	New Technologies for Low Temperature Fabrication of Ceramic Films in Passive Integration

著者

和文:	T. Tsurumi, S. Wada, J. Akedo, M. Kakimoto.
英文:	T. Tsurumi, S. Wada, J. Akedo, M. Kakimoto.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	105th Annual Meeting & Exposition of the American Ceramic Society, 4/27/03-4/30/03, Nashville, U.S.A. 、(招待講演)

巻, 号, ページ

出版年月

2003年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: