Effect of gas phase absorption into Si substrates on plasma doping process

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effect of gas phase absorption into Si substrates on plasma doping process

著者

和文:	Ryota Higaki, 筒井一生, Yuichiro Sasaki, Sadahiro Akama, Bunji Mizuno, 大見俊一郎, 岩井洋.
英文:	Ryota Higaki, Kazuo Tsutsui, Yuichiro Sasaki, Sadahiro Akama, Bunji Mizuno, Shun-ichiro OHMI, HIROSHI IWAI.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

pp. 231-234

出版年月

2003年9月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	33rd European Solid-State Device Research Conference (ESSDERC2003)

開催地

和文:
英文:	Estoril

アブストラクト

pp.231-234