プラズマドーピング法におけるH等の深さ分布プロファイルの挙動とコンタミの検討 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	プラズマドーピング法におけるH等の深さ分布プロファイルの挙動とコンタミの検討
英文:

著者

和文:	佐々木雄一朗, 水野文二, 赤間貞洋, 檜垣良太, 大見俊一郎, 筒井一生, 岡下勝己, 前嶋聡, 吉川住和, 中山一郎, 岩井洋.
英文:	佐々木雄一朗, 水野文二, 赤間貞洋, 檜垣良太, 大見俊一郎, 筒井一生, 岡下勝己, 前嶋聡, 吉川住和, 中山一郎, 岩井洋.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第50回応用物理関係連合講演会予稿集
英文:

巻, 号, ページ

pp. 941

出版年月

2003年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

©2007 Institute of Science Tokyo All rights reserved.