むだ時間を有するプロセスに対する離散時間スライディングモード制御と半導体製造用クーリングプレートへの適用

論文・著書情報

タイトル

和文:	むだ時間を有するプロセスに対する離散時間スライディングモード制御と半導体製造用クーリングプレートへの適用
英文:	Discrete-Time Sliding-Mode Control for Processes with Time Delay And Its Application to Cooling Plate for Semiconductor Manufacturing

著者

和文:	板東賢一.
英文:	kenichi bandoh.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本機械学会論文集C編
英文:	TRANSACTIONS OF THE JAPAN SOCIETY OF MECHANICAL ENGINEERING

巻, 号, ページ

Vol. 69 No. 682 pp. 1587-1594

出版年月

2003年

出版者

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会議名称

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開催地

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